8インチウェーハ用UV LED硬化システム

UVET 社の UV LED 硬化システム UVSS-288C3 は、最大 Φ200mm サイズのウェーハを硬化するように構築されており、365nm の波長と 750mW/cm^2 の UV 強度を提供します。紫外線に敏感なテープが数秒で硬化して粘着力が低下する可能性があります。

従来の水銀アークランプに比べ、高出力のLEDを採用しています。低入力電力要件で、最大の生産速度と均一な照明でさまざまな材料を処理することができます。