Ua kūkulu ʻia ka ʻōnaehana hoʻōla ʻana o UVET o ka hui UVSS-288C3 no ka hoʻōla ʻana i nā wafers a hiki i ka nui Φ200mm, e hāʻawi ana i 365nm hawewe a me 750mW/cm^2 UV ikaika.Hiki iā ia ke ho'ōla a paʻakikī i ka lipine UV-sensitive e hōʻemi i kona ikaika paʻa i kekona. Hoʻohālikelike ʻia me nā kukui mercury-arc maʻamau, hoʻohana ia i nā LED kiʻekiʻe.Hiki iā ia ke hana i nā ʻano mea like ʻole i ka wikiwiki o ka hana ʻana a me ka hoʻomālamalama homogeneous, me nā koi haʻahaʻa haʻahaʻa. |
Hōʻike No. | UVSS-288C3 | |||
Ka lōʻihi nalu LED | 365nm | |||
Ka ikaika o UV | 750mW/cm2 | |||
Wahi hoʻoheheʻe | Φ200mm | |||
Hoʻopau wela | Hoʻoluʻu pā |